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JSR是全球重要的半导体光刻材料生产企业之一。JSR自1979年开始销售CIR负性光刻胶并进入半导体材料领域,目前官方光刻材料产品组合覆盖g-line、i-line、KrF、ArF以及EUV光刻胶,同时提供配套的有机和无机多层材料。
随着晶圆线路不断微缩,光刻胶不仅需要满足分辨率要求,还需要兼顾曝光灵敏度、图形轮廓、缺陷控制、蚀刻耐受性和工艺稳定性。针对先进封装,JSR还推出ELPAC THB系列厚膜电镀光刻胶,用于凸点、铜柱及再布线结构加工。
JSR半导体光刻胶可覆盖不同曝光波长及制程需求:
**g-line和i-line光刻胶:**适合成熟制程、功率器件、模拟芯片及部分微细加工。
**KrF光刻胶:**适用于248 nm曝光制程,可用于集成电路及存储器相关图形加工。
**ArF光刻胶:**适用于193 nm干式或浸没式光刻,是先进半导体制程的重要材料。
**EUV光刻胶:**JSR同时布局化学放大型EUV光刻胶和Inpria金属氧化物光刻胶,用于更先进节点的图形化工艺。
JSR ELPAC THB系列主要用于半导体先进封装中的厚膜图形、电镀凸点、铜柱及RDL再布线加工。该系列具有良好的图形分辨率、电镀液耐受性和真空工艺稳定性,负性产品可通过单次旋涂形成百微米级厚膜。
主要型号及应用方向包括:
**JSR THB-151N:**用于Cu、Ni及SnAg焊料凸点电镀。
**JSR THB-170N:**用于Cu柱及Cu、Ni、焊料凸点加工。
**JSR THB-180N:**适用于高铜柱及超厚膜电镀结构。
**JSR THB-126N、THB-135N:**用于Au凸点及Cu、Ni、SnAg微凸点。
**JSR THB-111N:**用于Cu RDL再布线加工。
**JSR THB-806P:**用于更精细的Cu RDL线路加工。
JSR可以提供从成熟制程到先进节点的光刻材料,覆盖传统紫外、KrF、ArF和EUV曝光技术,同时拥有前道晶圆光刻和先进封装厚膜光刻产品。
不同系列可满足微细线宽、深宽比结构、厚膜电镀模具及精细RDL的图形加工要求。THB系列公开资料展示了约0.9 μm至2.0 μm级别精细线路及百微米级厚膜应用案例。
JSR厚膜光刻胶可用于Cu、Ni、SnAg及Au等金属电镀工艺,适合凸点、微凸点、铜柱和再布线结构制造。
JSR厚膜电镀光刻胶可用于Flip Chip、微凸点、晶圆级封装和RDL加工,能够满足先进封装对膜厚、侧壁形貌和电镀耐受性的综合要求。
除了光刻胶,JSR还提供底层材料、顶涂层、有机及无机多层材料,用于改善曝光精度、图形转移能力和蚀刻耐受性。
JSR光刻胶可重点应用于:
半导体晶圆前道光刻、逻辑芯片、存储芯片、功率器件、晶圆级封装、Flip Chip、Cu Pillar铜柱、C4凸点、微凸点、Cu RDL再布线以及先进封装电镀加工。
在先进封装领域,THB系列能够覆盖约5 μm至100 μm以上的不同膜厚需求,从精细RDL到高铜柱结构均有相应产品方向。
JSR光刻胶选型不能只看品牌和型号,还需要确认以下工艺条件:
**曝光光源:**g-line、i-line、KrF、ArF或EUV。
**光刻胶类型:**正性或负性。
**目标膜厚:**薄膜光刻、5至15 μm RDL、20至100 μm凸点或100 μm以上铜柱。
**目标图形:**线宽、间距、孔径、深宽比和侧壁形貌。
**基材类型:**硅晶圆、化合物半导体、金属层、介质层或封装基板。
**后续工艺:**蚀刻、Cu电镀、Ni电镀、SnAg电镀或Au电镀。
**设备条件:**旋涂机、曝光机波长、烘烤设备、显影方式和去胶工艺。
深圳市睿擎国际贸易有限公司可根据客户提供的曝光波长、目标膜厚、线宽、基材、电镀金属及现用型号,协助核对适合的JSR光刻胶产品。
深圳市睿擎国际贸易有限公司面向国内半导体、先进封装、电子材料及科研客户供应JSR光刻胶和相关电子材料。
可提供的服务包括:
JSR光刻胶型号查询与工艺选型
原包装及批次信息核验
TDS、SDS及COA资料支持
样品测试与小批量采购
项目用量和批量交付服务
THB系列厚膜电镀光刻胶配套选型
JSR官方产品体系覆盖g-line、i-line、KrF、ArF和EUV光刻胶,同时提供先进封装用THB厚膜电镀光刻胶及多层光刻配套材料。
THB-151N是一款先进封装用负性厚膜电镀光刻胶,主要用于Cu、Ni和SnAg焊料凸点加工,典型膜厚范围覆盖约20至100 μm。
THB-170N和THB-180N主要用于Cu Pillar铜柱加工,其中THB-180N更偏向100 μm以上的高铜柱和超厚膜工艺。
THB-111N主要用于Cu RDL加工,THB-806P则用于更精细的Cu RDL线路,可根据目标膜厚、线宽和曝光设备进行选择。
建议提供现用型号、曝光波长、正负胶类型、目标膜厚、最小线宽、基材、电镀金属、显影液及预计采购数量,便于准确核对型号和对应工艺资料。