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JSR THB-151N是一款负性厚膜电镀光刻胶,主要用于半导体先进封装中的铜、镍及焊锡凸块电镀工艺。深圳市睿擎国际贸易有限公司可提供JSR THB-151N产品咨询、资料申请及应用选型支持。
THB-151N属于JSR ELPAC THB系列负性厚膜光刻胶,适用于晶圆级封装、倒装芯片及凸块电镀等工艺。
JSR官方资料将THB-151N定位于约25–90μm厚膜范围,主要用于铜电镀和焊锡凸块制程;JSR最新系列资料中,THB-151N及相关型号可覆盖约20–100μm厚膜,并用于Cu、Ni及SnAg电镀。
JSR THB-151N具有较好的厚膜成膜能力和电镀工艺适应性,可在较厚胶膜条件下形成较为清晰的图形结构,为后续金属沉积提供光刻模具。
主要特点包括:
THB-151N可作为铜电镀模具,用于形成铜凸块、铜柱及其他厚金属结构,适用于晶圆级封装和先进互连工艺。
该型号可用于SnAg等焊锡凸块电镀,适合Flip Chip、C4及晶圆级封装中的焊点结构制作。JSR官方产品线将THB-151N列入Cu、Ni及SnAg凸块应用范围。
THB系列主要面向下一代WL-CSP等封装工艺,可用于需要厚膜、高深宽比金属结构的半导体封装流程。
JSR曾公开介绍THB-151N用于先进铜线圈沉积工艺,可通过厚膜光刻与铜电镀形成微型金属线圈及精密结构。
具体旋涂转速、前烘条件、曝光能量、显影时间及剥离工艺,需要结合目标膜厚、设备型号和实际生产条件进行确认。
THB系列可根据目标膜厚和电镀结构进行选择:
如果客户需要较厚胶膜,并用于铜柱、铜凸块或焊锡凸块电镀,可以优先评估THB-151N。
深圳市睿擎国际贸易有限公司可提供JSR THB-151N厚膜电镀光刻胶产品咨询,并可根据客户的目标膜厚、曝光设备、电镀材料及封装结构协助确认型号。